杏彩·体育世界杯(中国)官方网站 ASML恳求基于运筹帷幄光刻模拟监测衰退效应专利, 用于模拟光刻中的衰退效应
国度学问产权局信息披露，ASML荷兰有限公司恳求一项名为“基于运筹帷幄光刻模拟监测衰退效应”的专利，公开号CN122122520A，恳求日历为2024年9月。
2026美加墨世界杯中国官方网页版专利选录披露，本文描画一种用于模拟光刻中的衰退效应的体式和系统。基于它们的衰退贤慧度礼聘图案或切割线以用于监测衰退效应。不错基于（a）衰退图像的空间导数或（b）图案的空间图像的二阶导数详情衰退贤慧度。获取示意光刻建树的扫描位置依赖性照耀光瞳概述的衰退源，杏彩·体育世界杯(中国)官方网站况兼使用衰退源详情衰退图像。基于衰退图像的空间导数详情衰退贤慧度谈判联系于晶片台调制的导数。使用衰退贤慧度谈判的导数的特征向量示意图案。对特征向量进行分组，况兼基于该分组礼聘一图案纠合以用于监测衰退效应。
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